铁电体有序纳米结构制备、纳尺度物性及微结构表征

本课题利用化学自组织方法在硅基纳米有序孔氧化铝（AAO）膜版介质上制备铁电体（如BaTiO3、PZT）有序纳米结构；利用AAO膜板孔径和孔距的尺寸均匀可调特性，在纳米尺度（10 - 100 nm)控制铁电体的有序排列及相邻铁电体之间的距离；在硅基AAO膜版上构筑纳米结构铁电电容器阵列，采用压电模式的扫描探针显微镜（SPM）等技术在纳米尺度表征铁电体有序纳米结构的物理性能,揭示其尺寸效应规律；阐明纳米尺度限域效应对铁电材料物性的影响物理机制；利用（扫描）透射及高分辨透射电子显微镜等技术在纳米尺度研究铁电体在硅基纳米有序孔AAO膜版介质上的生长动力学规律，揭示铁电体微结构特征及其演化的尺寸效应规律；探索铁电体有序纳米结构的物性与微结构之间的关联机制，为人工调控铁电体有序纳米结构及开发存储密度达到Terabit级(万亿位/平方英寸)的新一代纳米铁电存储器提供技术基础和科学依据。