用原子力显微镜研究光学表面微轮廓及其对成象质量影响

本课题在国内外首次运用AFM仪器系统地研究了一些光学和超光滑表面形貌，真实微轮廓以及表面微缺陷等，在纵向横向均达纳米亚纳米精度。在国内外首次将上述研究与传统干涉方法比较，指出干涉法只有一维高精度，因而不能得出表面真实微轮廓和微缺陷。课题还首次运用AFM法测出超光滑表面镀膜前后的表面结构和实际形貌，研究评价光学抛光表面工艺的本质形态，对指导和改进光学镀膜光学抛光工艺具有重大意义。课题在AFM仪器关键元部件性能优化研究中有所改进创新，在部分相干光成象系统中得出表面形貌空间频谱分布对成象质量影响的新观点。课题充满创造性地完成了预定研究目标，在光学和超光滑表面学术研究中分别达到国际领先和国际先进水平。