XF2（X=S,Mo,W）自由基电子激发态光谱及动力学研究
基本信息
批准号：29873046
项目类别：面上项目
资助金额：12.00
负责人：俞书勤
学科分类：
依托单位：中国科学技术大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王储记,张群,周晓国,孙海虹
关键词：
自由基电子激发态光谱动力学
结项摘要
SF2MoF2及WF2自由基是半导体工业的等离子体蚀刻过程中一个重要的中间产物，此类自由基的光谱及动力学研究对了解其能级结构，化学活性，光电离及解离等动力学过程起着关键作用。本课题拟用直流脉冲放电方法产生所需的自由基，通过激光诱导荧我光谱和共振增强多光子电离光谱测量，结合同步辐射光吸收，光电离及荧光激发谱测量，深入研究指定自由基电子激发态能级结构及其解离动力学过程。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
DOI：
发表时间：
2
非牛顿流体剪切稀化特性的分子动力学模拟
非牛顿流体剪切稀化特性的分子动力学模拟
DOI：10.7498/aps.70.20202116
发表时间：2021
3
血管内皮细胞线粒体动力学相关功能与心血管疾病关系的研究进展
血管内皮细胞线粒体动力学相关功能与心血管疾病关系的研究进展
DOI：10.13191/j.chj.2017.0028
发表时间：2016
4
船用低速机关键摩擦副建模分析与摩擦力无线测量验证
船用低速机关键摩擦副建模分析与摩擦力无线测量验证
DOI：10.3969/j.issn.1004-132x.2022.04.001
发表时间：2022
5
并联机构驱动力优化配置方法及应用研究
并联机构驱动力优化配置方法及应用研究
DOI：10.3901/JME.2019.01.032
发表时间：2019
俞书勤的其他基金
批准号：29373120
批准年份：1993
资助金额：12.00
项目类别：面上项目
批准号：20273066
批准年份：2002
资助金额：24.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
若干自由基超激发态光谱及动力学研究
批准号：29603008
批准年份：1996
负责人：李全新
学科分类：B0304
资助金额：10.00
项目类别：青年科学基金项目
2
强磁场下MX2（M=Mo，W；X=S，Se，Te）的晶相调控合成及微波吸收性能研究
批准号：11904116
批准年份：2019
负责人：丁伟
学科分类：A2003
资助金额：24.00
项目类别：青年科学基金项目
3
含MX结构单元（M=Nb,Ta,Mo,W, X=S,Se,P）的新型层状化合物合成、结构与物性研究
批准号：51072226
批准年份：2010
负责人：王皖燕
学科分类：E02
资助金额：39.00
项目类别：面上项目
4
同步辐射研究3d过渡金属掺杂1T-MX2(M=Mo/W;X=S/Se)纳米片电催化机理
批准号：11705205
批准年份：2017
负责人：刘琴
学科分类：A3009
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目