自动检测光掩模上缺陷的机器视觉系统
基本信息
批准号：68880513
项目类别：专项基金项目
资助金额：4.00
负责人：邢小良
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：1988
结题年份：1990
起止时间：1989-01-01 - 1990-02-01
项目状态： 已结题
项目参与者：
关键词：
自动检测光掩模机器视觉系统
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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