基于MEMS技术的SPR生化检测芯片基础研究

表面等离子共振(SPR)技术是一种重要的生化检测手段，具有实时检测、灵敏度高、不需事先标记等优点，在生物医学领域有着广阔的应用前景。我们提出了一种基于MEMS技术加工硅棱镜的新方法，从而使SPR检测结构与微流控系统进行单芯片集成成为可能，并可以通过多通道、微阵列及复合膜等新原理和技术来实现多种光学效应的片内并行检测，获取多种生化信息。通过微流体系统与检测系统的单芯片集成，可以形成包括采样、进样、分离、反应、检测功能的真正的片上实验室，从而实现用微生化芯片检测生化反应的微机理，带来新的科学突破。本项目将深入研究近红外波段与SPR现象有关的光效应的物理机理、基于体硅工艺的高质量微硅棱镜的加工方法和原理、利用多通道、微阵列及复合膜技术来实现多种光学效应片内并行检测的方法、微加工工艺与生物薄膜的兼容性、微流体系统与检测系统单芯片集成的基础问题和方法学，为形成真正的片上实验室打下理论和技术基础。