GaAs共平面结构新型超高速光调制器研究

按预定要求全面完成本项目的研究工作。在国内外首次研制成具有独特结构的高效GaAs/GaAcAs行波型光调制器，半波电压小于8（V），3dB等宽32GAg。其特点为：①通过理论研究发现了改变包括光波导层在内有高阻层的总厚度，可以比较方便地实现调制微波与光波的传输速度的匹配而不影响其他性能指标。②在波导层下设置孤立的n（+）GaAlAs层，该层对电场起到了导体的作用而磁场则相当于绝缘体，通过对n（+）层厚度和掺杂浓度的优化选择既能较大幅度降低微波传输损耗又能达到提高调制效率和降低半波电玉的要求。③改变惯用的非对称电极彩用了对算宽电极与整体台面型结构，提高了器件的消光比，减少了微波吸收损耗冈时降了对材料生长的要求。本项研究为批量研制创造了条件。