激光核聚变系统研究中大口径、高精度的光学元件表面的疵病缺陷将大大消耗光能量及降低光学元件的激光损伤阈值,严重影响系统的正常运行。对大口径元件的疵病检测,人为的目视观察评估由于主观因素而导致检测的准确度及效率低。本项目将根据国际及ICF的疵病工程标准,提出了新颖的适合于大口径子孔径扫描散射成像数字化检测系统,深入分析研究表面疵病特性,有利于后续的定标;采用了多光纤柯拉照明、冷光源无形变检测;利用显微
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数据更新时间:2023-05-31
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