二维超精密机械扫描的超高精密动态测量方法研究
基本信息
批准号：58870187
项目类别：面上项目
资助金额：3.50
负责人：舒德明
学科分类：
依托单位：中国科学院高能物理研究所
批准年份：1988
结题年份：1990
起止时间：1989-01-01 - 1990-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王渭,王莫托,张宜娟,张永海,刘景,何玮
关键词：
二维机械扫描动态测量超高精度
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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