脉冲激光沉积掺铒多元氧化物薄膜和光子晶体波导放大器研究

可集成光波导放大器是光子集成的核心元件。研制紧凑型、高增益、低成本1.5微米掺铒光波导放大器，对推动新一代光纤通讯（光纤到户技术）乃至实现全光通讯网络具有重要意义。使用脉冲激光，采用横向掺杂，纵向隔离和多元基质材料的高浓度均匀掺杂方法，制备高浓度、致密、均匀的Er:Al2O3或掺铒多元氧化物光学薄膜，进而研制可集成1.54微米光波导放大器，探索高浓度均匀掺铒Al2O3和多元氧化物薄膜的最佳工艺，优化可集成光波导放大器设计和制造工艺，探索光子晶体波导放大器。最终提供毫米尺度具有净增益(3dB/cm)的平面波导放大器样品。