基于微分干涉显微技术的小雷诺数流场温度、压力测量方法

将激光干涉测量技术应用到微机械器件流体测量中，为MEMS器件中小雷诺数流体温度、压力场测量提供测试方法和理论；试验研究MEMS器件流体机械特性及其对微流体传热传质机理的影响。.主要研究内容：建立微流体边界层反射率、液体折射率与温度、压力之间的函数模型；研究提高微分干涉显微系统中位移观测和参数测量分辨率的方法；研究微弱相位信号检测方法、误差分析与补偿、测量结果校准与溯源方法；以微流控芯片为对象，研究MEMS器件几何尺寸、微观结构、表面状况等机械特性对微流体热传导机理的影响。测试系统采用诺曼斯基双折射棱镜配合高倍率物镜，微驱动器驱动双折射棱镜实现相位偏移干涉。该测量方法也可为微纳米机械其他物理量测量提供借鉴，如两相流空隙率、传质系数、以及气泡、液滴和颗粒尺寸等。采用激光微分干涉显微技术，测试微机械器件流场温度、压力参数是本项目的创新点。