基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器设计理论与实现方法的研究

随着雷达、通信等领域技术的快速发展，带宽、幅频特性、可靠性和工作稳定性之间的矛盾使得现有的射频系统已经越来越不能满足日益提高的应用要求。在不影响射频系统的性能和成本的前提下，本项目首次提出了一种用于灵活调节系统幅频特性的基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器结构方案，其特点是结构新颖、性能优越、应用性强、工艺兼容性好。本项目的核心研究内容是建立一套完整的可重构微波均衡器设计理论和实现方法，包括：（1）微波均衡器和RF MEMS开关各种模型的建立和设计方法的研究；（2）MEMS微波均衡器可重构结构的设计理论和方法研究；（3）应用所取得的研究成果，指导基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器样片的设计和工艺制作；（4）建立可重构微波均衡器的测试系统，用试验研究的方法验证设计理论与方法的有效性。

本项目以可重构MEMS微波均衡器为研究对象，将RF MEMS开关应用在微波均衡器结构中，实现了均衡曲线的可重构。项目研究了高性能RF MEMS热驱动开关结构及其微波模型和静力学模型，重点研究了可重构MEMS微波均衡器的微波模型和匹配设计方法，并在理论模型和仿真优化的基础上完成了两种可重构MEMS微波均衡器结构及四种RF MEMS热驱动开关结构的工艺流程设计、工艺制备和测试，测试结果显示了可重构MEMS微波均衡器可以实现多种均衡曲线的转换，具备优良的微波特性和机械特性，验证了设计理论的正确性和实现方法的有效性，为下一步的工程应用奠定了基础。