电容式射频辉光放电的电极鞘层结构与电子加热模式
基本信息
批准号：19875033
项目类别：面上项目
资助金额：13.00
负责人：林揆训
学科分类：
依托单位：汕头大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：林璇英,李美亚,王洪,梁厚蕴,余云鹏,林舜辉,余楚迎,林旭升,池凌飞
关键词：
射频辉光放电鞘层结构电子加热模式
结项摘要
综合测试硅烷射频辉光放电等离子体中硅氢基团、电子密度和能量分布函数的空间分布，研究电极的鞘层结构和电子加热模式及其变化对硅烷等离子体空间反应过程和薄膜沉积过程的影响。建立薄膜的沉积机理的模型，优化制备优质非晶硅薄膜的工艺流程。为电容式射频光放电等离子体化学气相沉积系统的设计提供可靠的数据和坚实的实验基础..
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
演化经济地理学视角下的产业结构演替与分叉研究评述
演化经济地理学视角下的产业结构演替与分叉研究评述
DOI：10.15957/j.cnki.jjdl.2016.12.031
发表时间：2016
2
监管的非对称性、盈余管理模式选择与证监会执法效率?
监管的非对称性、盈余管理模式选择与证监会执法效率?
DOI：
发表时间：2016
3
特斯拉涡轮机运行性能研究综述
特斯拉涡轮机运行性能研究综述
DOI：10.16507/j.issn.1006-6055.2021.09.006
发表时间：2021
4
宁南山区植被恢复模式对土壤主要酶活性、微生物多样性及土壤养分的影响
宁南山区植被恢复模式对土壤主要酶活性、微生物多样性及土壤养分的影响
DOI：10.7606/j.issn.1000-7601.2022.03.25
发表时间：2022
5
基于全模式全聚焦方法的裂纹超声成像定量检测
基于全模式全聚焦方法的裂纹超声成像定量检测
DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.J2007019
发表时间：2021
林揆训的其他基金
批准号：19475027
批准年份：1994
资助金额：7.50
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
活性屏等离子工艺双重辉光放电机理及偏压鞘层特性的研究
批准号：51307091
批准年份：2013
负责人：郑少梅
学科分类：E0705
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
2
基于磁场增强的射频辉光放电质谱技术与体系建立
批准号：21775156
批准年份：2017
负责人：钱荣
学科分类：B0403
资助金额：64.00
项目类别：面上项目
3
射频辉光放电硅烷等离子体的诊断技术与机理研究
批准号：19475027
批准年份：1994
负责人：林揆训
学科分类：A2903
资助金额：7.50
项目类别：面上项目
4
常压射频辉光等离子体稳定放电研究
批准号：10905010
批准年份：2009
负责人：石建军
学科分类：A2907
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目