额尔齐斯推覆剪切带的变形几何学与物质演化规律研究

本研究以光学头为基础构成柔性测微传感器，其特色在于不改变主体结构，仅增减部分元器件，即可实现不同的测量功能，易于组成复合式测量系统，代替多种不同类型传感器工作。传感器的拆卸和安装也较为方便。由于采用指量生产的光学头作为主体，因而所形成的传感器成本也较为低廉。在单元技术上，研制成基于光学头的光触针式光电位移测量系统，测量分辩率优于10nm，测量范围5μm；研制成物镜跟踪型光测头，测量分辩率0.1μm，测量范围1mm；研制成光学头-PZT组合元件可以作为距离干涉仪的附件使用，形成光触针式轮廓仪；本研究还提出了一种新型编码器读数原理并制成了分辩率为16位的角度编码器。该系统具有高的性能价格比，可广泛用于测量和控制领域。