射频磁控溅射铜锌合金纳米膜微观机制研究

采用射频磁控溅射法在有机过渡薄层上制备铜锌合金纳米膜。通过等离子体状信息采集和诊断，测定纳米膜的厚度、化学键态、元素组成、形貌结构和光学性质，研究铜锌合金纳米膜合金相形成规律和机理，寻找合金相形成的判据，研究纳米膜生长动力学规律。这对研制合金纳米膜，特别是高品质铜锌合金粉，很有理论和实际意义。