射频磁控溅射铜锌合金纳米膜微观机制研究
基本信息
批准号：20276080
项目类别：面上项目
资助金额：25.00
负责人：陈振兴
学科分类：
依托单位：中南大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：陈振兴,段学臣,叶华,杨刚,黄巧萍
关键词：
磁控溅射纳米膜微观机理
结项摘要
采用射频磁控溅射法在有机过渡薄层上制备铜锌合金纳米膜。通过等离子体状信息采集和诊断，测定纳米膜的厚度、化学键态、元素组成、形貌结构和光学性质，研究铜锌合金纳米膜合金相形成规律和机理，寻找合金相形成的判据，研究纳米膜生长动力学规律。这对研制合金纳米膜，特别是高品质铜锌合金粉，很有理论和实际意义。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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