微电子系统中材料在电场及激光作用下的非线性断裂问题
基本信息
批准号：19872061
项目类别：面上项目
资助金额：12.00
负责人：郝天护
学科分类：
依托单位：东华大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：谢涵坤,施芸城,马瑞晓
关键词：
损伤与断裂电场非线性
结项摘要
本项目拟研究微米级铝线受激光瞬时加热（纳秒）时其引起的周围硅化物材料的断裂，非线性力电耦合材料中电极头部的损伤以及铝线表面的电致损伤，这些都是在大规模集成电路以及智能型构件的研制中出现的问题，研究这些问题的起因和机理具有十分重要的理论和实际意义。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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