基于激光诱导荧光技术的化学机械抛光加工机理的可视化研究
基本信息
批准号：50475119
项目类别：面上项目
资助金额：24.00
负责人：袁巨龙
学科分类：
依托单位：浙江工业大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：沈中伟,吴锡兴,赵文宏,邢彤,赵萍,常敏,吕迅,王志伟,楼飞燕
关键词：
可视化CMP加工机理CMP模型LIF
结项摘要
化学作用和机械作用是影响化学机械抛光（CMP，Chemical Mechanical Planarization）加工中材料去除速率的主要因素。试片下方的抛光液状态支配着抛光机理。通过对影响CMP加工区域内抛光液状态相关过程变量的研究，可对CMP加工机理有更完整的认识。本研究采用激光诱导荧光（LIF,Laser Induced Fluorescence）可视化光学测量技术观测CMP加工区域内的过程
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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