超级化学铜沉积的机理研究
基本信息
批准号：20573073
项目类别：面上项目
资助金额：26.00
负责人：王增林
学科分类：
依托单位：陕西师范大学
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：焦桓,田穗康,李慧,宗喜梅,刘志鹃,姜洪艳
关键词：
SPS电化学测定超级化学填充沉积机理计算机模拟
结项摘要
我们通过大量细致的研究在世界上首次实现了超级化学铜填充。超级化学铜技术完全可以填充直径小于0.07微米,孔深/孔径比大于3的微孔，成为新一代铜互连线制造工艺的希望。然而,有关超级化学铜填充的作用机理还不清楚。我们拟通过X-射线光电子能谱和纵向二次离子质谱,研究SPS在化学铜膜表面、膜中间的浓度变化，确定SPS是否在化学镀铜过程中被混入铜膜中，而导致SPS在化学镀铜过程中的浓度消耗。通过电化学分析方
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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