坡莫合金薄膜材料是用于地磁寻北系统中的一种关键材料,为了提高地磁寻北系统寻北精度,对传统的各向异性磁电阻薄膜材料- - -坡莫合金薄膜提出新的技术要求:坡莫合金薄膜必须做得很薄,而且磁电阻变化率及磁场灵敏度要更高,也就是说要发展一种新型的或更高性能的坡莫合金薄膜材料。为了满足我国的军事需求,本研究提出在制备传统的各向异性磁电阻坡莫合金薄膜材料的基础上,插入适当厚度、适当氧化状态、适当种类的纳米氧化层以及使用适当的缓冲层,以期望提高磁电阻变化率和磁场灵敏度,制备出新型的性能最佳的坡莫合金薄膜;采用X射线光电子能谱,X光衍射,高分辨电镜,原子力显微镜等手段研究界面微结构,尤其是在纳米尺度上表征新型的坡莫合金薄膜的界面结构。
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数据更新时间:2023-05-31
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