薄膜晶体生长早期阶段的原子过程
基本信息
批准号：19874052
项目类别：面上项目
资助金额：11.00
负责人：周熙炎
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：曹培林,施丹华,姜明,赵宇军,仇敏,李宝兴,姚青
关键词：
薄膜生长扩散与凝聚微观机制
结项摘要
随着电子器件的日益微型化，薄膜晶体生长原子过程研究，受到了当前国际上的高度重视。本项目应用全势能LMTO方法，XDVM方法及我们发展的与跃迁类型有关的MC模拟晶体生长方法，深入研究其中三个最基本的原子过程：吸附原子扩散的台阶边缘势垒，杂质原子对上述势垒的影响，最新发现的吸附原子岛集体迁移的微观机制及对薄膜生长的影响。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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