薄膜晶体生长早期阶段的原子过程

基本信息
批准号:19874052
项目类别:面上项目
资助金额:11.00
负责人:周熙炎
学科分类:
依托单位:浙江大学
批准年份:1998
结题年份:2001
起止时间:1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:曹培林,施丹华,姜明,赵宇军,仇敏,李宝兴,姚青
关键词:
薄膜生长扩散与凝聚微观机制
结项摘要

随着电子器件的日益微型化,薄膜晶体生长原子过程研究,受到了当前国际上的高度重视。本项目应用全势能LMTO方法,XDVM方法及我们发展的与跃迁类型有关的MC模拟晶体生长方法,深入研究其中三个最基本的原子过程:吸附原子扩散的台阶边缘势垒,杂质原子对上述势垒的影响,最新发现的吸附原子岛集体迁移的微观机制及对薄膜生长的影响。.

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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