微制造中有机高聚物超声时效理论与方法研究

在项目组前期研究工作基础上,针对高聚物胶结构中存在的高机械应力问题，提出高聚物超声时效的新方法。以高分子物理和化学、分子动力学的理论和方法为基础，建立超声激励促进交联后高聚物分子链运动、重排和交换的高聚物超声时效新理论；通过研究交联率与内应力及尺寸误差定量关系的理论描述方法，明确超声时效降低高聚物胶结构膨胀性的作用机理；建立用于定量描述高聚物与高能物质界面结合强度的粘合理论模型，揭示金属基底与高聚物胶的结合机理。从根本上解决高深宽比高聚物胶结构中高应力、高聚物膨胀导致的结构尺寸误差过大以及高聚物胶与金属基底结合质量差的问题。为低应力、高深宽比、高尺寸精度高聚物胶结构的研究提供理论依据。目前国内外尚未见有同类研究的报道。本项目研究成果将在高聚物结构内应力、膨胀性和界面结合特性的理论研究方面具有重要学术参考价值和实际应用价值，将为UV-LIGA技术的应用和发展提供新的理论支持。