稀土金属介入化学沉积钴基软磁薄膜的研究

在国内外率先设计、确定稀土金属介入钴基软磁薄膜化学共沉积的工艺，研究稀土化学沉积钴基合金镀液的电化学性质，稀土金属种类、镀覆条件和热处理方法对化学沉积钴基软磁薄膜形貌、成分、晶体结构和物理、化学、力学性能的影响机制。提出稀土金属改善化学沉积钴基软磁薄膜制备工艺、电化学性质、组织结构和性能的科学依据，对开辟稀土金属应用的新途径、开发稀土化学沉积新技术、获得多种功能特性良好配合的钴基软磁薄膜有着重要的意义。