微波近场扫描显微镜及其应用

研制能够无损伤测量和研究样品表面电阻率变化及空间分布的微波近场扫描显微镜。通过对探头的静态电磁场分布的理论计算分析，设计和改进探头的结构和加工工艺，提高微波近场显微镜的空间分辨率和电阻分辨率。利用研制的微波近场扫描显微镜研究半导体集成电路器件、微波集成电路器件、超导薄膜电子器件等薄膜器件的质量和局域电学性质。