微波近场扫描显微镜及其应用
基本信息
批准号：69801004
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：13.00
负责人：冯一军
学科分类：
依托单位：南京大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴培亨,康琳,凌勇,尤立星,刘雷
关键词：
近场微波技术扫描显微镜表面电阻率
结项摘要
研制能够无损伤测量和研究样品表面电阻率变化及空间分布的微波近场扫描显微镜。通过对探头的静态电磁场分布的理论计算分析，设计和改进探头的结构和加工工艺，提高微波近场显微镜的空间分辨率和电阻分辨率。利用研制的微波近场扫描显微镜研究半导体集成电路器件、微波集成电路器件、超导薄膜电子器件等薄膜器件的质量和局域电学性质。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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