微小压电马达LIGA工艺研究
基本信息
批准号：59235112
项目类别：重点项目
资助金额：28.00
负责人：王立鼎
学科分类：
依托单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
批准年份：1992
结题年份：1996
起止时间：1993-01-01 - 1996-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：宣明,吕琼莹,李福田,王一凡,王飞,佟晓冬,张玉玲,干东英,崔天宏
关键词：
**
结项摘要
本课题旨在研究微型机械制造的基础理论以及设计方法,加工工艺,必要的测试与控制等基础技术,探讨和研究LIGA工艺(软X射线深层光刻,电铸成型等)和精密加工技术在微型机械制造中的应用,开发并研制三维应力场微小压电马达。上述微机械工艺与微执行器在工程、医学、生物和国防等领域均具有潜在的应用价值。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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