高功率垂直腔面发射激光器的研究

高功率的半导体激光器可以应用在材料加工、激光印刷、激光医疗、激光雷达、激光泵浦、空间激光通讯等诸多领域。而随着外延材料质量的提高和湿法氧化等器件工艺技术的进展，高功率的垂直腔面发射激光器（VCSELs）也迅速发展起来，并以其优越的性能，有望取代传统的边发射激光器。目前，国际上的高功率VCSELs的研究正成为热点，并与列阵技术、外腔技术、腔内倍频技术结合，不仅大幅度提高了输出功率，而且还可以改变输出波长。而国内高功率VCSELs的研究仅处于器件工艺的研究阶段，与国际上的研究水平有较大差距。.因此，高功率VCSELs的研制（包括理论设计、材料生长、工艺优化以及与其他技术的结合），不仅拓宽了国内半导体激光器的研究领域，而且对于打破国外封锁、获取自主知识产权、抢占战略制高点有重要意义。