集成传感器及亚微米器件中非线性电阻网络理论及其应用

在国际上首先发现压力传感器的零点电漂移，并提出应作传感器的一个特性指标。电源电压变化会引起零点变化，影响测量精度，在输出信号与压力及外加电压的关系的三维空间中提出典型曲线。提出U=VbR1R3-R2R4/（R1+R2）（R3+R4）公式UδVb的不完整性。解释了零点电漂移的起因在于扩散力敏电阻的非线性。电阻条的有限导电厚度随外加电压改变而改变。当扩散结深大于2.5μm以及掺杂浓度超过5×10（18）cm(-3)时，扩散电阻非线性得到改善。用受控源来替代非线性电阻的等价作用，从而实现PSPICE程序可以分析非线性电阻电路。已研制成自平衡电桥被偿热漂移数字压力计，热漂移系数<0.2%/℃FS。