氧环境电子显微分析原理及其应用

基本信息
批准号:60171024
项目类别:面上项目
资助金额:18.00
负责人:郭汉生
学科分类:
依托单位:北京工业大学
批准年份:2001
结题年份:2004
起止时间:2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:吉元,杨丽敏,史佳新,王晓冬
关键词:
充电机制电子辐照损氧环境电子显微分
结项摘要

在电子显微分析中引入一定的氧分压或局域吹氧为(氧化物)试样配置氧环境(系统真空维持在≤10E-5乇),研究氧环境对试样表面电子辐照损伤和污染的控制作用。结合俄歇能谱治鲅芯康缱臃渌鹕撕捅砻嫖廴居氤涞缦窒蟮哪谠诹担教盅趸肪臣跚崾匝涞绲幕疲唤岷隙允匝尤龋饩鲇醚趸肪车缱酉晕⒎治龇椒ǚ治龇堑嫉缪罚绕涫茄趸锏目尚行晕侍狻

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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