本项目着重从宏观微观结合的途径探讨微机电系统出现的若干新的力学现象及其机理.内容?在各向异性的情况下研究尺度效应及表面能对微机电系统中微细元件的晶格常数、弹性模量与本构关系的影响;建立考虑非局部效应的微细元件的接触、摩擦的力学模型和JC接触鹊呐芯?本项目的研究有助于深刻理解微机电系统的基本原理及运行机制.
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数据更新时间:2023-05-31
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微机电系统动态建模与若干基础问题研究