微机械硅梁膜结构的压力传感特性研究
基本信息
批准号：68880210
项目类别：专项基金项目
资助金额：3.30
负责人：鲍敏杭
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：1988
结题年份：1991
起止时间：1989-01-01 - 1991-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：
关键词：
梁膜结构压力传感器
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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