利用LAPS技术成膜工艺相容性,研究可对体液PH、PO2和葡萄糖进行连续扫描检测的EIS并列型光寻址体液分析传感器。当传感器三种敏感膜与待测样液接触时,外加偏置电压使硅片表面处于耗尽状态。三种敏感膜表面分别产生由响应量决定的表面电势E。通过一束被调制的激光光束,对敏感膜对应的硅片区进行二维寻址,就可得到幅值由E调节的交变光电流或光电压。研究硅片寻电类型、电阻率、厚度、窗孔区光洁度和激发光波长,光束调制频率,功率以及光束入射面,偏置电压加入方式等对光电压的影响。研制出在室温下,可对待测液的PH(1-10范围)、PO2(0.9-10PPM)和葡萄糖浓度(10(-5)-10(-2)M)进行连续检测的体液分析传感器。目前国内外未见报导。今后需继续提高稳定性和寿命的研究。
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数据更新时间:2023-05-31
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