抛光亚表面缺陷的光学相干层析探查方法

以可见的特征波长激光或超辐射光照射抛光表面，在偏离反光区域获取反向散射相干信号，以控制相干长度到最小的办法取得微米级相干长度，获取表面至亚表面各相干层的信号，经小样表面比对试验数据解算出各层内散射变化而无损查知各层微缺陷。相干层的垂直表面Z较虻慕蒔ZT定位扫描器控制在50nm--30nm步长，xy方向由大范围扫描器实施。