软X射线衍射反射(Bragg-Fresnel)元件制备方法研究

本项目首先对衍射光学元件的设计进行探讨，推导出一维元件的近似理论，提出了一种足够精度的近似方法，编制了衍射图形的数值化计算程序设计系数并给出了设计结果。同时对多层膜膜系进行了设计，分析和计算了近似理论的误差。此外，我们还依据量子散射理论研究了衍射反射元件，提出并推导了设计原理编制了数值化计算程序系统，对多种使用条件下的衍射图形进行了计算，结果与国外文献相吻合。在研制衍射反射元件的过程中，首先分析和实验研究了多层膜的热和化学稳定性，证明了衍射反射元件制备的多层膜在常规光刻工艺过程中是稳定的，并采用设计制作掩模的传统光刻工艺，实现了元件制作，性能满足设计要求。