MEMS封装失效的诊断与预测方法研究
基本信息
批准号：50405033
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：24.00
负责人：廖广兰
学科分类：
依托单位：华中科技大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王峻峰,熊良才,黄弢,聂磊,夏奇,王聪
关键词：
封装诊断失效信息融合MEMS
结项摘要
封装是MEMS技术在工业上面临的最大挑战之一，失效模式多样、失效机理复杂。本项目以MEMS封装为应用对象，结合从事MEMS封装可靠性实验测试、封装工艺过程模拟与仿真研究所取得的成果，采用信息融合方法，研究MEMS器件结构、原材料特性、设备、环境、工艺过程及结果等众多不同类型的物理量和相互耦合作用对MEMS封装失效的作用机制与影响，探索封装失效机理、失效模式及相应的诊断方法。同时，采用"实验验证封装
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于国产化替代环境下高校计算机教学的研究
基于国产化替代环境下高校计算机教学的研究
DOI：
发表时间：
2
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
DOI：
发表时间：
3
东太平洋红藻诊断色素浓度的卫星遥感研究
东太平洋红藻诊断色素浓度的卫星遥感研究
DOI：10.13634/j.cnki.mes.2022.05.020
发表时间：2022
4
信息熵-保真度联合度量函数的单幅图像去雾方法
信息熵-保真度联合度量函数的单幅图像去雾方法
DOI：10.3724/SP.J.1089.2019.17435
发表时间：2019
5
早孕期颈项透明层增厚胎儿染色体异常的临床研究
早孕期颈项透明层增厚胎儿染色体异常的临床研究
DOI：无
发表时间：2020
廖广兰的其他基金
批准号：51175210
批准年份：2011
资助金额：62.00
项目类别：面上项目
批准号：50975106
批准年份：2009
资助金额：40.00
项目类别：面上项目
批准号：51675210
批准年份：2016
资助金额：63.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
MEMS真空封装内部放气失效机理与加速寿命模型研究
批准号：51375399
批准年份：2013
负责人：乔大勇
学科分类：E0512
资助金额：80.00
项目类别：面上项目
2
高聚物封装MEMS燃料电池中的结构蠕变及界面分层失效研究
批准号：50805013
批准年份：2008
负责人：梁军生
学科分类：E0512
资助金额：20.00
项目类别：青年科学基金项目
3
失效型式识别和失效时间预测的方法与模型研究
批准号：71771029
批准年份：2017
负责人：蒋仁言
学科分类：G0108
资助金额：50.00
项目类别：面上项目
4
微纳米散斑技术研究及其在MEMS器件和微电子封装中热失效问题的应用
批准号：10372049
批准年份：2003
负责人：李喜德
学科分类：A0812
资助金额：32.00
项目类别：面上项目