微机械声表面波陀螺

微机械振动陀螺是当今微电子机械系统领域的重要研究方向，具有巨大的经济效益和社会效益。本课题拟以振动陀螺工作原理为设计思想，利用声表面波中的陀螺效应及声表面波检测技术，结合半导体工艺，采用微机械加工工艺，设计制作出一种新型声表面波微机械振动陀螺。这种新型陀螺综合了声表面波器件的优点，具有精度高、分辨率高、体积小和抗冲击等优点。由于该项目涉及到声学、电子学、惯性技术以及微机械加工工艺，且具有社会效益及经济效益，因此，开展这项研究工作，对于加快我国高新技术的发展具有重要意义。