微波激励大体积等离子体源的研究
基本信息
批准号：19875055
项目类别：面上项目
资助金额：16.00
负责人：梁荣庆
学科分类：
依托单位：中国科学院合肥物质科学研究院
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：邬钦崇,苏小宝,隋毅峰
关键词：
等离子体应用微波环形波导
结项摘要
微波等离子体源受微波自由空间波长限制，难以获得直径超过微波波长的大体积等离子体，而大体积等离子体是产业化应用的重要条件。本项目是研究利用环形波导的狭缝天线阵列激励大体积微波等离子体机理和实验规律。对低气压低温等离子体应用走向产业化具有重要意义。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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