视算超级计算机中并行处理技术研究

本课题的主要研究内容包括：用LIGA工艺制造微型机械零件，如微齿轮的设计和制造方法；微型机械零件的尺寸、形状测量的技术研究；微型加速度传感器的设计、制造、性能测试技术研究。研究成果：设计、制作了模数为50μm齿数分别为12及36的标准渐开线外齿轮和内齿轮；研制了显微图象测量系统；提出了一种可达到亚象素分辨率的边缘检测新方法；研制了一套计算机控制的微电铸仪；铸出了合格的微齿轮；研制了一套计算机控制的紫外光微光成型机，可配合LIGA式艺制造微机械和微传感器，也可单独制作微结构。本课题完成和发表了七篇论文，基中核心刊物4篇，一般刊物1篇、国际会议2篇。