冲击压缩下MgSiO3的冲击相变和声速研究

针对多晶薄膜衍射线强度低、线条宽化、多层膜重叠峰及受多因素影响非无穷膜厚吸收等原因导致实测强度误差大、强度与极密度正比关系破坏、极图各区域和各极图数据不自洽等定量织构分析（QTA）困难，采用步进扫描等无遗漏强度收集、无标样强度新校正法及QTA改进最大熵新算法等综合措施，恢复强度与极密度对应关系、提高实测极图数据可靠性、充分发挥信息熵最大原则推知从有限信息获离散几率分布最可几结果的优越性，建成多晶薄膜普适QTA方法和技术。并运用于高、中、低晶系Cu、Zn、Fe、Zn/Cu、高温超导薄膜、金属间化合物QTA。还提出薄膜取向演变组态熵模拟模型。本成果将薄膜取向研究推至定量阶段，大大支撑微电子高新产业薄膜材料研究开发。