项目主要研究适合于W波段及以上频率的微型毫米波行波管折叠波导慢波结构的理论和基础工艺研究。对这种慢波结构的色散特性、耦合阻抗、传输特性、以及其中的电子注与波的互作用过程进行研究,采用场分析法、等效电路法和电磁软件的仿真等方法进行研究,针对W波段行波管对器件的结构尺寸和精度要求很高的特点,将微细加工技术中的深刻技术引入到传统的微波真空电子器件中,如:准LIGA技术和DEM技术,并进行折叠波导慢波结构
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数据更新时间:2023-05-31
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