大范围实用型二维纳米定位控制及测量技术

研究大范围、高分辨率、高精度集驱动、测量、控制于一体的实用二维纳米测量技术。由马达驱动二维工作台运动，由干涉仪测量工作台位移并反馈控制马达运动。内容包括光学倍频耦合差动激光干涉技术、推拉式大范围微位移连续驱动技术、高精度信号处理和控制技术、误差修正技术、结构优化设计及抗干扰研究。实现了直接溯源的大范围、实用化纳米测量。