新颖微波介质陶瓷薄膜的研究
基本信息
批准号：50172042
项目类别：面上项目
资助金额：21.00
负责人：王德苗
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴勇军,任高潮,谢银芳,董树荣,黄靖云,金浩,张昊翔,郑史烈,徐俊
关键词：
共溅掺杂微波陶瓷薄膜介电特性
结项摘要
BAO-TIO2体系改性微波介质陶瓷具有优良的微波特性。本课题提出用这类材料制备新颖的微波集成电路用陶瓷薄膜。分析离子转换掺杂对薄膜的微波介电特性的影响，探讨薄膜在微波段的极化与损耗机理，研究多靶共溅掺杂法低温沉积高品质陶瓷薄膜的技术途径。同时探讨其微波原型器件的可行性。为开发下一代薄膜微波电路提供理论基础和实验依据。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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