使用激光对焦平面列阵非破坏诊断的研究

利用新的激光束感生电流技术，研究制备工艺对器件结构影响的监测方法。通过对列阵单元感生电流和光电流测量，以及使用双激光技术和正在探索的新的激光技术，以期突破用非破坏手段对焦平面器件基本物理参量的定量测量。该项研究既能提供焦平面器件及各工艺流程评判依据，加快研制出优质焦平面器件，又能促进器件物理的研究。