激光光致热塑膨胀效应及三维微结构制备成型新方法研究

本项目研究微纳米尺度光致热塑膨胀效应，发展三维微结构制备成型新方法, 建立三维微结构的制备装置系统，实现点、柱、线、面、体等微结构的快速制备。核心是基于激光照射引发的热塑膨胀效应研究新的三维微结构制备方法，用多种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构，制备的结构线宽在1～100um量级内可调、纵横比可控（最大2:1以上）。特色与创新之处是，揭示热塑膨胀效应的机制，通过编程控制扫描实现所需任意形状的三维微结构的制备，无需掩模、线宽与速度可调、可获得高纵横比。研究材料的热塑膨胀效应，并利用此效应实现三维微结构的快速制备，拓展了一种新的三维微结构制备成形方法，具有重要的理论意义和科学价值；这一新的技术方法，在微机械、微光学技术、微电子技术、微光学电子机械系统（MOEMS）及微纳米技术其它领域具有广阔的应用前景。