肖特基发射电子枪及其用于电子显微镜的研究

研究了肖特基发射阴极应用于扫描电子显微镜中的各种问题：电子与电子间的相互作用；高能电子使空间气体分子电离；电子轰击吸极，枪壁产生脱附气体的分析；设计出相应的真空系统，枪静电透镜系统，电子光学系统。研制出了保护灯丝用打火抑制器，实验摸索真空系统表面处理及工作规范，摸索出肖特基阴极的工作、启动规范等，研制成功了我国第一台分辨率达到25A的扬发射扫描电子显微镜。