基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统关键技术的研究

在分析微液滴冲击冷却的热输运特性，以及研究微结构两相传质、传热过程的动态特性及其不确定因素的基础上，建立微液滴冲击冷却过程的数学模型；研制能传送高密度热流的微介电液滴冲击冷却集成芯片及其相应的实验系统装置；通过对微介电液滴冲击冷却的流体动力学和热动力学过程的数值模拟，并结合相应的实验技术研究和验证，对微尺度下相变传质传热的机理进行了深入研究，创建微介电液滴冲击冷却的基础理论体系。项目研究的成功将不仅对微尺度的传热传质理论研究具有一定的推动作用，而且该冷却系统具有很好的社会经济效益。在高精度测量与加工、光电通讯系统等领域中具有非常广阔的发展前景。