微型泵设计制造研究

研制了微小梁、膜、零件、流量传感器、驱动装置、阀和泵等十余种微型器件，研究应用多种微机械制造技术。建立微流量系统的数学力学模型和设计仿真方法，开发微流量和微结构机械性能测试系统，进行了微机理研究。泵的性能达到国际先进水平，开发应用3项，发明专利1项，论文70余篇，培养研究生9人、博士后3人。开展国际合作。微小压电马达的研究首次提出行波压电微马达广义瑞利波致动机理和粗糙度波假设及广义赫兹接触理论，建立了转速转矩数学模型并进行了实验验证；提出纵弯式压民微马达驱动原理，建立了转速转矩模型；研制出直径为φ3mm的行波压电微马达样机和转子小于φ0.5mm的行波和驻波压电微马达模型；用LIGA工艺加工出深度达500μm微结构。