制造微机械系统的激光LIGA加工技术基础

研究准分子激光用于制作高精度三维微结构的光学问题，以及准分子激光加工三维微结构的工艺技术，解决总体尺寸为几百微米、尺寸精度为微米级三维立体微型器件的获得方法及表面质量控制。此项目研究将促进微型器件在我国生物医学、通讯、电子等领域的应用，并为微机械系统研究提供技术支承。