大努森数下微机械谐振器及滤波器的滑动膜分子阻尼模型

品质因数是微机械谐振器及滤波器的关键指标。空气阻尼是决定品质因数大小的重要因素。对于封装在高真空（大努森数）中的微机械谐振器及滤波器，空气分子阻尼模型比连续介质阻尼模型更具优越性。但目前空气分子阻尼模型的研究成果不够完善，只能处理挤压膜阻尼，不能处理滑动膜阻尼。而滑动膜阻尼在许多微机械谐振器及滤波器中存在。.本项目将从建立气体分子与平板的"侧面"碰撞模型（能量输运关系）出发，将统计力学与振动理论相结合，计算做振动的微结构与做热运动的空气分子碰撞后的能量损失，建立滑动膜空气分子阻尼模型。本项目创新点就体现在: 首次研究滑动膜空气分子阻尼机理并建立阻尼模型（包括集中参数模型和分布参数模型）。