基于PLZT薄膜的光学相位调制器阵列关键技术的研究

本项目主要是通过对PLZT陶瓷薄膜材料电光效应的特性和机理的研究，根据光学相控阵的基本原理，设计一种基于PLZT薄膜的光学相位调制器阵列，解决调相器列阵制备的关键技术，并对器件特性和机理进行测试分析，为发展波导型、宽波段、高速响应、低工作电压的光学相控阵提供科学依据和技术基础。主要研究内容包括对PLZT陶瓷薄膜光学相关特性的研究，PLZT薄膜相位调制器阵列设计及制备工艺的探索，波导阵列和电极结构的设计加工及最终的原型器件测试等。项目旨在跟踪国际前沿，对PLZT陶瓷薄膜器件及波导阵列的设计、集成和制备工艺进行有益探索，为PLZT陶瓷薄膜材料的进一步改善、优化和应用推广提供有益的数据和实验反馈支持，并为国防科学技术、超快光子学科学研究和技术应用提供新型光子元器件和新的单元技术。