质量分离的离子束淀积金刚石薄膜的研究
基本信息
批准号：68976018
项目类别：面上项目
资助金额：5.00
负责人：姚振钰
学科分类：
依托单位：中国科学院半导体研究所
批准年份：1989
结题年份：1992
起止时间：1990-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：秦复光,任治璋,王向明,庄蔚华
关键词：
金刚石薄膜质量分离的离子束淀积
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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