聚合过程中等离子体的研究

本项目应用发射光谱、四极质谱分析和静电探针等实时诊断方法研究了苯乙烯等离子体内部不同空间，即等离子体辉光区、两极板鞘层区域内的活性粒子成份、相对浓度变化的状况，揭示了等离子体内部反应过程与所形成的聚合膜结构及沉积速率之间的内在联系，探索了等离子体聚合新方法，研制出了性能良好的苯乙烯等离子体聚合膜湿敏元件。研究结果表明，等离子体聚合过程主要受放电区域中各类活性粒子（激发态分子、原子、自由茎碎片、离子）总数的影响，活性粒子的化学结构决定了聚合膜的化学结构；等离子体反应室中通过使用特殊的偏压机构，有效地实现了对聚合膜沉积速率和结构形成的可控性，为进一步深化聚合新方法的研究及促进实际应用奠定了良好的基础。