半导体多层膜中微缺陷的X射线衍射统计动力学研究

利用X射线双晶和三轴晶等分辨衍射，掠入射镜面反射及漫散射等研究方法，研究了CdMnTe/CdTe多层膜在InSb衬底上的结构，包括表面和界面结构，研究了生长工艺与在GaSb衬底上生长ZnFe多延膜的界面相结构特征间的关系。得出在一定的工艺条件下，在II-IV/II-V界面易形成III2VI3型化合物，界面相的形成及其厚度对外延膜的弛豫及表面粗糙度等有影响，研究了不同工艺过程处理的InP表面结构。研究了InSb单晶中的微缺陷，微缺陷的尺度和密度分别约为0.3um和5×10(6)cm(3)。研究了InGaAs外延膜中的微缺陷，得出评价膜完整性的参数。用原位同步辐射白光形貌，研究了C60单晶的相变，生长机理，荧光特性等。建立了国内首台X射线三轴晶衍射仪，并用其对Ges:多层膜进行了研究。